临安市系原临安、於潜、昌化三县合并。汉以前三县均无建制。临安秦、汉时为会稽郡余杭县地，东汉建安 16年（211年）分余杭置临水县，县治在高乐。晋武帝太康元年（280年）更名临安县，隶属吴兴郡。唐属杭州余杭郡。南宋景定三年（1262年）迁县治于西墅保锦山下，明洪武初（1368年）迁东市太庙山右。於潜、昌化秦属鄣郡。西汉武帝元封二年（前109年）置丹阳郡，领县有於潜，东汉更名为於潜县。昌化属於潜县境。晋时临安、於潜（含昌化）同属吴兴郡，隋时同属杭州。唐垂拱二年（686年）析於潜置紫溪县，与临安、於潜同属杭州余杭郡。北宋太平兴国三年（978年）紫溪改名称昌化县。

    自宋以后，临安、於潜、昌化县建置和名称基本稳定。北宋属杭州，南宋属临安府，元属杭州路，明属杭州府，清因之。民国元年（ 1912年）废府，直属于省。民国24 年（1935年），属浙江省吴兴行政督禁区。民国37年（1948年）改属第九行政督察区，专署驻临安县衣锦镇。

    1949年临安、於潜、昌化相继解放后属临安专区。1953年撤销临安专区改属嘉兴专区。1955年，於潜、昌化划入建德专区。1957年，临安县划入建德专区。1958年，撤销余杭县，并入临安县；撤销於潜县，并入昌化县；同年12月，撤销建德专区，临安、昌化划归嘉兴专区。1960年撤销昌化县，并入临安县，划归杭州市领导。1996年临安撤县建市。